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High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance (Materials Science and Process Technology Series) - Popov, Oleg A.
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Popov, Oleg A.:

High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance (Materials Science and Process Technology Series) - gebunden oder broschiert

1996, ISBN: 9780815513773

William Andrew, Gebundene Ausgabe, Auflage: New, 465 Seiten, Publiziert: 1996-12-31T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, Hersteller-Nr.: 1, black & white illustrations, 1.94 kg, Bauwesen, Inge… Mehr…

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1996, ISBN: 9780815513773

William Andrew, Gebundene Ausgabe, Auflage: New, 465 Seiten, Publiziert: 1996-12-31T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, Hersteller-Nr.: 1, black & white illustrations, 1.94 kg, Bauwesen, Inge… Mehr…

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Popov, Oleg A.:
High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance (Materials Science and Process Technology) - Erstausgabe

ISBN: 9780815513773

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William Andrew, 1997. Book. New. Hardcover. 1st Edition., William Andrew, 1997, 6

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High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance - gebunden oder broschiert

1996, ISBN: 9780815513773

Hard cover, New., Sewn binding. Cloth over boards. 465 p. Contains: Unspecified., [PU: William Andrew]

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Popov, Oleg A.:
HIGH DENSITY PLASMA SOURCES: DES - gebunden oder broschiert

1997, ISBN: 0815513771

[EAN: 9780815513773], Neubuch, [PU: William Andrew], New. In shrink wrap. Looks like an interesting title!, Books

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Bibliographische Daten des bestpassenden Buches

Details zum Buch
High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance (Materials Science and Process Technology Series)
Autor:
Titel:
ISBN-Nummer:

9780815513773


Describes the design, physics, and performance of high density plasma sources which have been explored in low pressure plasma processing, such as plasma etching and planarization, plasma enhanced chemical vapor deposition of thin films, sputtered deposition of metals and dielectrics, epitaxial growth of silicon and GaAs, and other applications.

Detailangaben zum Buch - High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance (Materials Science and Process Technology Series)


EAN (ISBN-13): 9780815513773
ISBN (ISBN-10): 0815513771
Gebundene Ausgabe
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 1997
Herausgeber: William Andrew
465 Seiten
Gewicht: 0,816 kg
Sprache: eng/Englisch

Buch in der Datenbank seit 2007-06-05T17:31:13+02:00 (Berlin)
Detailseite zuletzt geändert am 2023-05-12T14:12:12+02:00 (Berlin)
ISBN/EAN: 9780815513773

ISBN - alternative Schreibweisen:
0-8155-1377-1, 978-0-8155-1377-3
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: herbert könig, oleg popov
Titel des Buches: unsichtbare umwelt der mensch spielfeld elektromagnetischer kräfte, wetterfühligkeit feldkräfte, plasma physics, plasma process, materials science and technology, high density plasma sources, design 1950 1990, design performance, source material, sources the self, art technology sources, popov oleg

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