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Vieluf, M: HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometr - Maik Vieluf
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Maik Vieluf:

Vieluf, M: HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometr - Taschenbuch

ISBN: 9783838122397

Die absolut quantitative und standardfreie Analyse von Konzentrationsprofilen in ultradünnen Oxidschichten, insbesondere an deren Grenzflächen, stellt eine enorme Herausforderung an die i… Mehr…

Nr. A1016366877. Versandkosten:Lieferzeiten außerhalb der Schweiz 3 bis 21 Werktage, , in stock, zzgl. Versandkosten. (EUR 18.29)
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Vieluf, Maik:

HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie - Taschenbuch

2010, ISBN: 9783838122397

[ED: Softcover], [PU: Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften], Die absolut quantitative und standardfreie Analyse von Konzentrationsprofilen in ultradünnen Oxidschichten, insbeson… Mehr…

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Vieluf, M: HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometr
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Vieluf, M: HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometr - neues Buch

ISBN: 9783838122397

Die absolut quantitative und standardfreie Analyse von Konzentrationsprofilen in ultradünnen Oxidschichten, insbesondere an deren Grenzflächen, stellt eine enorme Herausforderung an die i… Mehr…

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HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie - Taschenbuch

ISBN: 9783838122397

*HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie* - Experimentelle Untersuchung von Schichtwachstum im Anfangsstadium / Taschenbuch für 79 € / Aus dem Bereich: Bücher, Wissenschaft, P… Mehr…

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ISBN: 9783838122397

HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie ab 79 € als Taschenbuch: Experimentelle Untersuchung von Schichtwachstum im Anfangsstadium. Aus dem Bereich: Bücher, Wissenschaft, Phys… Mehr…

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Bibliographische Daten des bestpassenden Buches

Details zum Buch
HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie

Die absolut quantitative und standardfreie Analyse von Konzentrationsprofilen in ultradünnen Oxidschichten, insbesondere an deren Grenzflächen, stellt eine enorme Herausforderung an die in Verwendung kommende Analysetechnik dar. Im Rahmen dieser Arbeit stand die Weiterentwicklung der hochauflösenden Rutherford-Streuspektrometrie (HR- RBS) im Forschungszentrum Dresden-Rossendorf (FZD) sowie die Beantwortung grundlegender experimenteller und theoretischer Fragestellungen zur HR-RBS im Vordergrund, die weltweit nur von einzelnen Gruppen erfolgreich angewendet wird. In Kooperation mit Qimonda AG und Fraunhofer CNT wurde die HR-RBS als zerstörungsfreie Ionenstrahlanalyse zur Quantifizierung von Tiefenprofilen an den Grenzflächen von Schichtsystemen im Sub- Nanometerbereich adaptiert, um das Diffusionsverhalten und Schichtwachstum im Anfangsstadium von high-k Dielektrika zu untersuchen. Die in sechs Kapitel unterteilte Dissertation beschreibt ausführlich durchgeführte Experimente zur Untersuchung von oberflächennahen high-k Schichten, die mittels Atomic Layer Deposition (ALD) abgeschieden worden sind.

Detailangaben zum Buch - HR-RBS Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie


EAN (ISBN-13): 9783838122397
ISBN (ISBN-10): 3838122399
Gebundene Ausgabe
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2010
Herausgeber: Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften
136 Seiten
Gewicht: 0,218 kg
Sprache: ger/Deutsch

Buch in der Datenbank seit 2009-02-06T02:01:27+01:00 (Berlin)
Buch zuletzt gefunden am 2024-03-16T22:46:50+01:00 (Berlin)
ISBN/EAN: 9783838122397

ISBN - alternative Schreibweisen:
3-8381-2239-9, 978-3-8381-2239-7
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Titel des Buches: rutherford


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