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Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4 - Jean Lorenzzi
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Jean Lorenzzi:
Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4 - Taschenbuch

ISBN: 3639076354

Taschenbuch, [EAN: 9783639076356], VDM Verlag Dr. Müller, VDM Verlag Dr. Müller, Book, [PU: VDM Verlag Dr. Müller], VDM Verlag Dr. Müller, 60448011, Ingenieurwesen & Technik, 60603011, Atomenergie, 60458011, Bauwesen, 60575011, Bioengineering, 60449011, Chemie für Ingenieure, 60508011, Computertechnik für Ingenieure, 60625011, Design für Ingenieure, 60516011, Elektrotechnik, 60628011, Energie, 60571011, Fahrzeugtechnik, 60652011, Forschung, 60543011, Industrie, Herstellung & Abläufe, 60565011, Luft- & Raumfahrt, 60636011, Management, 108498011, Marine, 60637011, Materialien, 60556011, Materialwissenschaft, 60580011, Mechanik, 60610011, Nachschlagewerke, 1320252031, Patente & Erfindungen, 60604011, Petroleum, Bergbau & Erde, 60651011, Stromanalagen, 60618011, Telekommunikation, 60447011, Architektur, Technik & Ingenieurswesen, 54071011, Genres, 52044011, Fremdsprachige Bücher, 56441011, Technologie, 56447011, Erneuerbare Energien, 56448011, Innovationen, 1320311031, Nachschlagewerke, 56444011, Nanotechnologie, 56449011, Philosophie der Technologie, 56445011, Risiken, 56446011, Sicherheit & Gesundheit, 273011011, Soziale Aspekte, 54518011, Technisches Denken & Schreiben, 56451011, Technologie & Gesellschaft, 56211011, Technologiegeschichte, 56442011, Zukunftsforschung, 56047011, Wissenschaft, 54071011, Genres, 52044011, Fremdsprachige Bücher

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Boron nitride thin films - deposited by magnetron sputtering on Si3N4
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Boron nitride thin films - deposited by magnetron sputtering on Si3N4 - Taschenbuch

2010, ISBN: 9783639076356

[ED: Taschenbuch / Paperback], [PU: VDM Verlag Dr. Müller], In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot-pressed B4C and h-BN targets on two different substrates: Si3N4 ceramics with different surface finishing and Si(100) wafers. The influence of parameters such as substrate temperature and working gas composition ratio (N2 or Ar), on film thickness, deposition rate, cristallinity, residual stress, phase composition and hardness, were systematically investigated using techniques like SEM, XRD, FT-IR and nanohardness., [SC: 0.00], Neuware, gewerbliches Angebot

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Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4 - Lorenzzi, Jean
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Lorenzzi, Jean:
Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4 - Taschenbuch

2010, ISBN: 9783639076356

ID: 905931773

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Boron nitride thin films - Lorenzzi, Jean
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Boron nitride thin films - Taschenbuch

2010, ISBN: 3639076354

Gebundene Ausgabe, ID: 8353025

deposited by magnetron sputtering on Si3N4 - Buch, gebundene Ausgabe, 96 S., Beilagen: Paperback, Erschienen: 2010 VDM Verlag, [PU: VDM Verlag Dr. Müller, Saarbrücken]

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Boron nitride thin films - Lorenzzi, Jean
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Boron nitride thin films - Taschenbuch

2010, ISBN: 3639076354

ID: 13788053519

[EAN: 9783639076356], Neubuch, This item is printed on demand for shipment within 3 working days., [PU: VDM Verlag Dr. Müller, Saarbrücken]

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Details zum Buch
Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4
Autor:

Lorenzzi, Jean

Titel:

Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4

ISBN-Nummer:

In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot-pressed B4C and h-BN targets on two different substrates: Si3N4 ceramics with different surface finishing and Si(100) wafers. The influence of parameters such as substrate temperature and working gas composition ratio (N2 or Ar), on film thickness, deposition rate, cristallinity, residual stress, phase composition and hardness, were systematically investigated using techniques like SEM, XRD, FT-IR and nanohardness.

Detailangaben zum Buch - Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4


EAN (ISBN-13): 9783639076356
ISBN (ISBN-10): 3639076354
Gebundene Ausgabe
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2010
Herausgeber: Vdm Verlag Jul 2010

Buch in der Datenbank seit 22.12.2007 15:17:24
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ISBN/EAN: 3639076354

ISBN - alternative Schreibweisen:
3-639-07635-4, 978-3-639-07635-6


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