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High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance (Materials Science and Process Technology) - Popov, Oleg A.
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Popov, Oleg A.:

High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance (Materials Science and Process Technology) - Erstausgabe

1996, ISBN: 9780815517894

William Andrew, Kindle Edition, Auflage: 1, 465 Seiten, Publiziert: 1996-12-31T00:00:00.000Z, Produktgruppe: Digital Ebook Purchas, Architecture & Microprocessors, Computer Science, Compu… Mehr…

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High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance Oleg A. Popov Author - neues Buch

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This book describes the design, physics, and performance of high density plasma sources which have been extensively explored in low pressure plasma processing, such as plasma etching and … Mehr…

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ISBN: 9780815517894

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Oleg A. Popov:
High Density Plasma Sources - Erstausgabe

1996, ISBN: 9780815517894

Design, Physics and Performance, eBooks, eBook Download (EPUB,PDF), Auflage, [PU: Elsevier Science], Seiten: 465, [ED: 1], Elsevier Science, 1996

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Details zum Buch
High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance Oleg A. Popov Author
Autor:
Titel:
ISBN-Nummer:

9780815517894

Detailangaben zum Buch - High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance Oleg A. Popov Author


EAN (ISBN-13): 9780815517894
Erscheinungsjahr: 12
Herausgeber: Elsevier Science Digital >16

Buch in der Datenbank seit 2007-04-21T06:55:58+02:00 (Berlin)
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ISBN/EAN: 9780815517894

ISBN - alternative Schreibweisen:
978-0-8155-1789-4
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: oleg popov
Titel des Buches: sources the self, high performance, plasma physics, popov oleg, design design

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